全隔离三维介电泳微粒分选芯片的设计及验证

• 作者: 冀秀敏 周嘉 潘暕
• 来源期刊: 复旦学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 介电泳芯片 三维电极 流体全隔离 微粒分选
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 462-466
• 页数: 5页
• 分类号: TN402
• 语种: 中文

摘要

本文设计制备了集成电路(IC)工艺兼容的三维电极阵列的介电泳芯片.芯片中的三维电极位于微流道的侧壁,且与流体完全隔离.芯片具有完全避免电极玷污和大幅降低电极表面强电场对生物样本活性损伤的优势.多物理场耦合分析软件(COMSOL)仿真表明外加100 kHz,1 5 Vrms的交变电场时10μm微粒完全分选.实验验证表明:当外加100 kHz,20 Vrms的交变电场时,9.9μm微粒的分选率为72.6％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周嘉	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	25	123	7.0	10.0
2	冀秀敏	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	潘暕	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	1	0	0.0	0.0