工件位置对薄膜沉积速率的影响

• 作者: 范忠雷 许璐 郑锦华 马新灵
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 薄膜沉积厚度 Ansys 气体密度 气体流速
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 1030-1035
• 页数: 6页
• 分类号: O484.2
• 字数: 3350字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2018.05.026

摘要

研究发现在实际的DLC薄膜沉积过程中,薄膜的沉积速率与工件所处的位置有关,在同一装置内沿轴向取30 mm为间隔放置工件进行薄膜沉积,沉积一小时后三个工件表面薄膜沉积厚度依次为2.4 μm、2.1μm、1.8 μm.通过有限元模拟软件Ansys对这种现象进行了分析,沉积装置内部气体的压强和气体质量分数分布变化不大,而装置不同位置处工件表面气体流速和气体密度有明显的变化,三个工件表面气体流速依次为0.072 ～0.103 m/s,0.089～0.121 m/s,0.114 ～0.148 m/s,气体密度为6.37e-5 kg/m3,5.81e-5 kg/m3,5.18e-5 kg/m3.因此,在沉积过程中,不同位置处的薄膜沉积速率的主要影响因素是气体流速和气体密度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马新灵	郑州大学化工与能源学院热能系统节能技术与装备教育部工程研究中心	38	353	11.0	17.0
2	范忠雷	郑州大学化工与能源学院热能系统节能技术与装备教育部工程研究中心	30	186	8.0	12.0
3	郑锦华	郑州大学化工与能源学院热能系统节能技术与装备教育部工程研究中心	13	81	6.0	8.0
5	许璐	郑州大学化工与能源学院热能系统节能技术与装备教育部工程研究中心	6	7	1.0	2.0