AZO单层和AZO/Cu/AZO复合层薄膜光电性能的研究

• 作者: 余云鹏 张汉焱 徐从康 林钢 王宇 王江涌
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO 掺杂 复合层 溅射 方阻 透过率
• 年，卷（期）: clkx_2018,（6）
• 页码范围: 664-676
• 页数: 13页
• 分类号: O48

摘要

本文采用射频磁控溅射法在玻璃衬底表面制备了Al掺杂的ZnO薄膜(AZO膜)及AZO/Cu/AZO复合层薄膜,使用四探针薄膜方阻仪、分光光度计、XRD和辉光放电发射光谱仪对薄膜光电性能及成分进行了表征分析。研究了制备工艺参数和各膜层厚度对单层AZO及AZO/Cu/AZO薄膜光电性能的影响,并在衬底室温条件下制备了方阻低至65 Ω/□、平均透过率达85%的复合层薄膜。