二维工作台角度误差实时补偿研究

• 作者: 伍婷婷 张芮 张连生 程真英 陈丽娟 黄强先
• 来源期刊: 中国测试
• 学科: 工学
• 关键词: 二维工作台 角度误差 压电陶瓷致动器 角度补偿
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 测控技术
• 页码范围: 102-106
• 页数: 5页
• 分类号: TP29
• 字数: 2500字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2018.08.019

摘要

为减小二维工作台在运动过程中俯仰角、偏摆角对其定位、测量及加工精度的影响,提出一种实时补偿二维工作台角度误差的方法.将激光测量系统作为角度反馈装置,基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计出的六自由度微动工作台作为补偿机构,通过软件控制微动台中压电陶瓷的输入电压,达到补偿工作台角度误差的目的.实验结果表明:二维工作台在50 mm的运动范围内,角度误差实时补偿后,向X方向运动的角度基本可以控制在±3″内,向Y方向运动的角度基本可以控制在±2″内.该方法能够实现对二维工作台角度误差的实时补偿,对提高工作台的定位精度有参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程真英	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	33	193	8.0	12.0
2	黄强先	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	46	319	9.0	15.0
3	陈丽娟	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	16	51	5.0	6.0
4	张连生	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	9	22	3.0	4.0
5	张芮	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	7	1.0	2.0
6	伍婷婷	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	8	1.0	2.0