MOCVD原位监测系统的设计与实现

• 作者: 刘新卫 徐龙权 方颂 许冬
• 来源期刊: 华侨大学学报（自然科学版）
• 关键词: 原位监测 TSM320F28335 金属有机化合物化学气相沉积 数据采集 数据处理 人机界面
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 210-213
• 页数: 4页
• 分类号: TP393.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.11830/ISSN.1000-5013.201709007

摘要

设计以TSMF32028335和AD7656为核心的数据采集与处理系统,采用以太网芯片W5300实现开发板与上位机的TCP/IP通信.作为监控端的上位机,采用通过Delphi开发的集数据处理、存储、显示与监控于一体的平台,且具有良好的人机交互界面.应用于自主研发的金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)设备,测试结果表明:该设计具有采集数据准确、通信快速稳定、人机界面友好、程序运行流畅的特点,完全符合工程控制要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘新卫	南昌大学信息工程学院	3	8	2.0	2.0
2	方颂	南昌大学信息工程学院	3	8	2.0	2.0
3	许冬	南昌大学信息工程学院	1	0	0.0	0.0