厚度对磁控溅射CoPt永磁薄膜磁性能的影响

• 作者: 包忠 杨云
• 来源期刊: 磁性材料及器件
• 学科: 工学
• 关键词: CoPt永磁薄膜 磁控溅射 薄膜厚度 磁性能
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 研究·分析·实验
• 页码范围: 10-11,22
• 页数: 3页
• 分类号: TM273
• 字数: 1264字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19594/j.cnki.09.19701.2018.01.003

摘要

CoPt永磁薄膜有较高的剩磁和矫顽力,通常用作磁传感器中的磁偏置或者微机电系统(MEMS)中的磁制动部件.CoPt薄膜多采用磁控溅射或离子束沉积工艺制备.采用磁控溅射制备了不同厚度CoPt/Cr薄膜.结果显示,CoPt 薄膜矫顽力随薄膜厚度增加而降低;薄膜较厚时(大于400 ?),剩磁随薄膜的厚度增加而降低.这主要是因为CoPt薄膜具有密集六方结构,其自然生长为(002)面,具有垂直各向异性.由于Cr缓冲层存在,CoPt薄膜较薄时沿 (1010)面生长,从而具有面内各向异性;但随薄膜厚度的增加,薄膜会沿(002)生长从而具有垂直各向异性,导致薄膜磁性能降低.