基于不同金属衬底制备碳膜的场发射研究

• 作者: 张兵临 张武勤 李桢 高金海
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 碳膜 微米金刚石薄膜 场致发射电子 微波等离子体化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 572-575
• 页数: 4页
• 分类号: TB383|O484
• 字数: 3612字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2018.03.005

摘要

利用磁控溅射的方法,在相同的陶瓷衬底上面分别镀上3种不同金属,形成3种不同的金属衬底,对金属层进行相同的表面处理后,放入微波等离子体化学气相沉积腔中,制备出3种碳膜.对制备出不同的碳膜用扫描电镜、拉曼光谱、X射线衍射仪进行结构分析,并用二极管型结构测试了它们的场致发射电子的性能.找到了最适合场发射的金属衬底,进一步对不同金属衬底制备碳膜的场发射特性不同的原因进行了初步的研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兵临	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
2	李桢	郑州师范学院物理与电子工程学院	28	28	3.0	4.0
3	高金海	郑州师范学院物理与电子工程学院	22	25	3.0	4.0
5	张武勤	郑州师范学院物理与电子工程学院	25	50	5.0	5.0