基于湿式清洗机的搬运机械臂精度设计

• 作者: 黄自柯
• 来源期刊: 机电一体化
• 关键词: 湿式清洗机 搬运机械臂 精度设计
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 应用·交流
• 页码范围: 46-51
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.16413/j.cnki.issn.1007-080x.2018.01.008

摘要

湿式清洗机是集成电路制造的关键装备,具有强腐蚀性的内部作业环境、运行性能要求高等特点,这对其搬运系统的设计提出了较高的要求.根据湿式清洗机和直角坐标式机械臂的特点,提出了基于丝杠和齿轮齿条为驱动结构的机械臂精度设计方案;对机械臂上主要机械部件的规格和安装调试方案进行了详细设计;使用了模块化的安装基板在4 m以上的行程情况下实现了较高的行走精度.通过在无尘室内的安装调试,验证了该精度设计方案的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄自柯	同济大学机械与能源工程学院	1	0	0.0	0.0