用于FBG刻写的小型准分子激光器实验研究

• 作者: 张威 方晓东 梁勖
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 准分子激光 光纤布拉格光栅 相位掩模 小型化
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 激光技术与器件
• 页码范围: 300-307
• 页数: 8页
• 分类号: TN248.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2018.03.007

摘要

248 nm的KrF准分子激光是光纤布拉格光栅(FBG)的首选刻蚀光源.针对FBG的刻写要求,研制了一台小型化KrF准分子激光器,并进行了机械结构设计和改进.实验研究了充电电压、放电电容、工作气体配比和储气腔内的气体压力对输出激光能量和效率的影响,优化了激光器性能,输出的重复频率达200 Hz,单脉冲输出能量达16 mJ,能量不稳定度小于2％,输出窗口附近的近场光斑尺寸为6 mm×3 mm,最高输出效率为1.24％.用该激光器作为光源采用相位掩模法进行了FBG刻写的实验,效果良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方晓东	中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室	73	301	9.0	13.0
2	张威	中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室	44	604	14.0	24.0
3	梁勖	中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室	27	113	6.0	9.0