140单元MEMS变形镜研制及测试分析

• 作者: 汪为民 王强
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 变形镜 自适应光学 静电驱动器
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 98-106
• 页数: 9页
• 分类号: TP211+.4
• 字数: 2685字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2018.170698

摘要

为了满足自适应光学技术更广泛的应用需求,针对传统变形镜体积大、成本高的问题,本文研制了基于微机电系统技术的MEMS变形镜并进行了实验测试.本文研制的变形镜共有140个六边形平行板电容静电驱动器,驱动器为12×12正方形排列,间距400 μm.采用表面MEMS工艺加工了变形镜样品,并利用陶瓷PGA管壳和石英玻璃盖板对样品进行了封装,同时还研制了与之配套的小型化多通道高压驱动电源.测试结果表明,该变形镜表面PV值411 nm,RMS值78 nm,在600 nm到900 nm波段的反射率接近80％,行程1.8 μm,交连值约15％,工作带宽13 kHz,阶跃响应时间23 μs,具有体积小、成本低、响应快等优势.除了进行了单元性能的测试之外,还开环控制变形镜进行了Zernike像差的拟合测试,验证了变形镜的校正能力.结果表明,该变形镜能初步满足自适应光学系统的应用需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	267	5471	42.0	69.0
5	汪为民	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	16	32	3.0	4.0