高能离子注入机离子能量计算方法研究

• 作者: 卓祖亮 张丛 武文杰
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入机 离子能量 射频
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 160-162
• 页数: 3页
• 分类号: TN60
• 字数: 1917字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2018.03.011

摘要

主流高能离子注入机基于RF加速结构实现高能离子加速,其离子能量的计算较为复杂.描述了一种基于RF加速结构的高能离子注入机中离子能量的计算方法.该方法基于RF加速原理,使用加速结构的静电场计算数据近似瞬时加速电场,通过简单数值方法实现离子能量快速计算.计算结果与实验结果和设备标称参数的对比显示,该方法计算精度能够满足指导设备调试的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张丛		2	0	0.0	0.0
2	卓祖亮		1	0	0.0	0.0
3	武文杰		1	0	0.0	0.0