微型腔光纤激光掩膜微细电解复合加工研究

• 作者: 李小海 王冬 王淑铭
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光表面改性 微细加工 电解加工 掩膜 不锈钢
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 474-480
• 页数: 7页
• 分类号: TG665|TG662
• 语种: 中文
• DOI: 10.14128/j.cnki.al.20183803.474

摘要

为了在304不锈钢表面上加工微小结构型腔,一套光纤激光掩膜微细电解复合加工装置被研发,对光纤激光掩膜微细电解复合加工的机理及影响其加工精度的因素进行研究.首先,利用激光表面打标技术,使光纤激光束在304不锈钢表面直写,进行激光制掩膜,在工件表面上生成Fe、Cr等金属氧化物层,形成抗腐蚀性掩膜保护层.随后,进行微细电解加工,利用激光打标生成的掩膜层耐腐蚀特性,依靠简单片状电极在微细电解加工中就能进行304不锈钢的定域腐蚀,快速实现微小型腔加工.对加工电压、极间间隙、电解液浓度、脉冲电源占空比、激光功率等对加工精度有影响的因素进行分析,选择合适的加工参数,经过三次掩膜电解复合加工,加工出深约为17.8 μm不锈钢方形等型腔,该工艺在微小型腔模具加工等领域有广阔发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王冬		30	106	5.0	9.0
2	李小海		41	97	6.0	7.0
3	王淑铭		10	8	2.0	2.0