直流电弧等离子体喷射法生长大尺寸金刚石单晶

• 作者: 吕反修 唐伟忠 孙振路 李国华 李成明 郭辉 黑立富
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石单晶 外延生长 CVD DC Arc Plasma Jet
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 研究和应用
• 页码范围: 31-40
• 页数: 10页
• 分类号: TQ164
• 字数: 5675字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1433.2018.02.009

摘要

化学气相沉积(CVD)大尺寸高质量金刚石单晶是近年来在CVD金刚石膜研究领域所取得的重大研究进展之一.迄今为止的研究,绝大多数都是采用微波等离子体CVD,在高腔压下(10～30kPa)进行的.这是因为,在高腔压下,微波等离子体球急剧收缩,从而能够提供高质量金刚石外延生长所需要的高原子氢浓度.借助电弧放电的极高温和旋转电弧设计,直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)能够在更大衬底面积范围提供可与之相比拟的原子氢浓度,因此有可能成为一种低成本的CVD金刚石外延生长方法.文章介绍了近年来采用高功率直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)生长大尺寸、高质量金刚石单晶的初步研究结果,并介绍了已经取得的进展和存在的问题,以及对未来的展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李国华		3	1	1.0	1.0
2	郭辉		3	5	1.0	2.0
3	孙振路		1	1	1.0	1.0