金刚石薄膜的形成及其场发射特性研究

• 作者: 张兵临 张武勤 李桢 高金海
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 金刚石聚晶碳膜
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 828-831
• 页数: 4页
• 分类号: O484|TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.06.015

摘要

研究了金刚石聚晶碳膜的生长过程,以及不同生长阶段碳膜的场发射性能.通过磁控溅射法在陶瓷上镀一层金属钛作为制备碳膜的衬底,将衬底放入微波等离子体化学气相沉积腔中,经过不同的沉积时间制备出一系列的碳膜.利用SEM、Raman光谱仪、X射线衍射仪等仪器,对碳膜进行了形貌与成分分析,最后利用二极结构场发射装置,测试了碳膜的场发射性能.着重讨论了金刚石聚晶碳膜生长过程中的变化,并且对金刚石聚晶碳膜的场发射机理进行了深入研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兵临	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
2	李桢	郑州师范学院物理系	28	28	3.0	4.0
3	高金海	郑州师范学院物理系	22	25	3.0	4.0
5	张武勤	郑州师范学院物理系	25	50	5.0	5.0