点源异位同步移相法检测平行平晶的光学均匀性

• 作者: 孙沁园 孟诗 张瑞 朱文华 郑东晖 陈磊
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 动态干涉测量 同步移相 平行平晶 光学均匀性 绝对检测
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学
• 页码范围: 180-187
• 页数: 8页
• 分类号: O436
• 字数: 3413字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20184701.0112002

摘要

为了避免平行平晶测量时前后表面干涉的影响,基于点源异位同步移相原理,提出一种均匀性绝对测量方法.测量分为平行平晶前后表面干涉测量、平晶透射波前测量、干涉仪空腔测量三步.每步通过在同一时刻抓拍的四幅移相干涉图恢复波前,最终由三次测量结果计算平行平晶的均匀性分布.在非抗振平台上测试了一块厚度为60mm的光学平行平晶,被测样品均匀性偏差的峰谷值为ΔnPV=3.32×10-6,均方根值为ΔnRMS=2.63×10-7.检测结果与波长调谐干涉仪测量结果的峰谷值偏差为ΔPV=5×10-7,均方根值偏差为ΔRMS=-7×10-9,具有较高的一致性.所提方法在环境振动条件下对平行平晶均匀性检测精度可达1×10-6.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	孙沁园	南京理工大学电子工程与光电技术学院	4	9	2.0	3.0
3	郑东晖	南京理工大学电子工程与光电技术学院	13	13	2.0	3.0
4	朱文华	南京理工大学电子工程与光电技术学院	22	28	3.0	4.0
5	张瑞	南京理工大学电子工程与光电技术学院	5	12	3.0	3.0
6	孟诗	南京理工大学电子工程与光电技术学院	2	4	1.0	2.0