气溶胶喷墨打印工艺参数对图案精度的影响

• 作者: 吕东喜 张远明 张鑫明 朱雪岩 赵熹 郭拉凤
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 气溶胶喷墨打印 超声波雾化器 纳米银颗粒 银线线宽 金属电极
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 688-693
• 页数: 6页
• 分类号: TS853.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.09.011

摘要

以商业纳米银颗粒墨水为打印材料,以钠钙玻璃为衬底材料,采用气溶胶喷墨打印工艺在衬底上打印形成银线.在搭建的气溶胶喷墨打印平台上,通过改变工艺参数探究不同工艺参数对银线线宽的影响规律.通过激光共聚焦显微镜对打印图案进行测量与观察发现:增大环绕气体流量、减小输送气体流量可以降低银线线宽;增大气体流量比可以在减小打印线宽的同时减小铺展现象,但会出现卫星液滴问题与沉积空洞现象;提高打印速度也可以有效抑制铺展现象;最后在钙钠玻璃衬底形成了平均电阻率为24.93μΩ·cm的导电金属电极图案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵熹	中北大学机电工程学院	11	10	2.0	3.0
2	郭拉凤	中北大学机电工程学院	26	139	6.0	11.0
3	张远明	中国科学院宁波工业技术研究院	4	5	1.0	2.0
4	张鑫明	中北大学机电工程学院	1	1	1.0	1.0
8	朱雪岩	中国科学院宁波工业技术研究院	2	2	1.0	1.0
9	吕东喜	中国科学院宁波工业技术研究院	4	2	1.0	1.0