基于光子晶体微腔和光纤环形衰荡的微力传感器

• 作者: 张亚男 钱晓龙
• 来源期刊: 东北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 光子晶体微腔 M型梁 微力传感器 光纤环形衰荡 品质因子
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 信息与控制
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2246字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2018.01.003

摘要

提出一种基于光子晶体微腔的高灵敏度的微力测量方法.首先,提出一种M型结构的梁作为传感探头,使系统在受到微力作用时,仅有光子晶体微腔的空气孔折射率发生变化而引起谐振波长的漂移,极大地提高了传感器的线性度和测量范围.然后,对微纳环结构的光子晶体微腔结构进行优化设计,获得了品质因子高达7100的微腔.最后,选择合适的实验器件及其特性参数,搭建基于光纤环形衰荡的波长解调系统,实验结果表明该系统的波长解调灵敏度为90μs/nm,所设计的微力测量系统的灵敏度可达194.616μs/μN.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱晓龙	东北大学信息科学与工程学院	47	834	14.0	28.0
2	张亚男	东北大学信息科学与工程学院	7	9	2.0	2.0