用于超导平面微波电路的悬空桥制备工艺研究

• 作者: 卢亚鹏 吴培亨 曹春海 耿海峰 花涛 许伟伟 赵凡 郁梅 陈健
• 来源期刊: 低温与超导
• 关键词: 悬空桥 磁控溅射 反应离子刻蚀 光刻
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.16711/j.1001-7100.2018.10.007

摘要

在超导微波电路芯片中,通常存在影响信号传输和控制的杂散信号,利用超导悬空桥连接电路不同接地平面,可有效抑制微波线路中的寄生杂散模式.利用光刻胶作为支撑层,采用直流磁控溅射、反应离子刻蚀(RIE)、深紫外曝光光刻等微加工方法,制备了连接复杂微波电路不同接地平面的悬空桥结构,并给出了制备工艺流程及悬空桥结构的低温超导特性表征.试验结果表明,该悬空桥制备工艺可用于目前比较复杂的超导平面微波电路制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许伟伟		69	148	6.0	9.0
2	吴培亨		93	237	8.0	12.0
3	陈健		73	202	7.0	11.0
4	曹春海		15	10	2.0	3.0
5	郁梅		40	647	10.0	25.0
6	卢亚鹏		2	4	1.0	2.0
7	花涛		6	2	1.0	1.0
8	赵凡		2	8	1.0	2.0
9	耿海峰		1	0	0.0	0.0