单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器

• 作者: 李昕欣 王家畴 薛丹
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热温差式流量传感器 热隔离 单硅片单面硅微机械加工 仿真分析
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 821-825
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2306字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.06.001

摘要

在(111)硅片上研制了一种单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器.利用Comsol仿真软件对敏感结构参数进行优化设计,最大程度降低了传感器的热损耗,提高了传感器灵敏度和响应时间.此外,得益于MEMS微创手术MIS(Mi-cro-openings Inter-etch&Sealing)工艺技术使得加工后的芯片尺寸仅为0.7 mm×0.7 mm,测试结果表明:传感器灵敏度为107.88 mV/(m/s)W(无放大处理),检测响应时间仅为1.53 ms,综合精度为±4%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	52	280	11.0	13.0
2	王家畴	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	7	12	2.0	3.0
3	薛丹	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	2	2	1.0	1.0