超导太赫兹直接检测器的制备技术研究

• 作者: 刘奥谱 吴培亨 孙国柱 徐祖雨 曹春海 王海萍 许伟伟 陈健
• 来源期刊: 低温与超导
• 关键词: Nb/Al-AlOx/Nb 隧道结 太赫兹检测器 斜坡刻蚀 制备工艺
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.16711/j.1001-7100.2018.10.008

摘要

本文研究了超导太赫兹直接检测器的制备流程和关键工艺技术,采用步进投影式光刻技术,来满足检测器对小面积超导隧道结和高频宽带匹配电路的高精度尺寸要求.实验获得了Nb膜反应离子刻蚀形成约42°斜坡角度的刻蚀气体CF4/O2比,解决了超导微带线在天线边缘处容易断线问题,成功制备出超导太赫兹直接检测器样品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许伟伟		69	148	6.0	9.0
2	吴培亨		93	237	8.0	12.0
3	陈健		73	202	7.0	11.0
4	曹春海		15	10	2.0	3.0
5	王海萍		7	3	1.0	1.0
6	孙国柱		24	18	3.0	3.0
7	刘奥谱		2	0	0.0	0.0
8	徐祖雨		1	0	0.0	0.0