基于LabVIEW的PVD/CVD材料生长平台真空控制系统

• 作者: 万能 周韵 李甫成 杨坤 邵志勇
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 自动控制 虚拟仪器 LabVIEW 数据采集 真空系统
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计分析及应用
• 页码范围: 764-769
• 页数: 6页
• 分类号: TP273
• 字数: 3743字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2018.03.042

摘要

为了能够实时、准确地获取PVD/CVD(物理/化学气相沉积)材料生长平台内部的真空情况,监控真空系统各个部件的运行状态,以及实现便捷安全的实验操作,设计了基于LabVIEW的PVD/CVD材料生长平台真空控制系统.该系统同时实现了气压数据曲线图表显示,仪器状态可视化监控,实验数据自动保存等功能.经实验室测试使用,效果良好,可靠性高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周韵	东南大学电子科学与工程学院	2	4	1.0	2.0
2	杨坤	东南大学电子科学与工程学院	6	5	1.0	2.0
3	邵志勇	东南大学电子科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
4	万能	东南大学电子科学与工程学院	1	0	0.0	0.0