基于移动X射线光刻工艺的采血微针阵列的制备

• 作者: 何易德 吕曈 吴文渊 李以贵 王欢 蔡金东
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 采血微针阵列 移动X射线光刻 毛细效应 光刻、电铸和注塑(LIGA)
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 671-676,682
• 页数: 7页
• 分类号: TH703|TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.09.008

摘要

为了降低传统采血对人体的疼痛感和损伤,制备了采血微针阵列结构.该微针阵列结构是采用日本立命馆大学的同步辐射光源AURORA进行两次移动X射线光刻,在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)光刻胶上得到与光刻、电铸和注塑(LIGA)掩膜版图形相似的曝光能量分布图,再利用显影技术获得了断面形状与LIGA掩膜版图形相似的PMMA微针阵列结构,密度为1 024针/cm2,微针尖端直径达到300 nm.通过采用不同的掩膜版图形,获得了形状各异的微针阵列结构.并且进行了采血实验,通过毛细效应,测试液在流入沟槽后被提取并保持,拔出的微针且不受损伤,1 cm2微针阵列可以提取0.5 μL测试液.最后,针对光刻过程中微针阵列结构的侧面形状发生畸变的情况,对移动X射线光刻建立了仿真预测,并且对LIGA掩膜版进行补偿,增强了采血微针阵列强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王欢	上海应用技术大学理学院	18	29	3.0	4.0
2	吴文渊	上海应用技术大学理学院	8	8	2.0	2.0
3	李以贵	上海应用技术大学理学院	24	34	4.0	4.0
4	蔡金东	上海应用技术大学机械学院	8	12	2.0	3.0
5	吕曈	上海应用技术大学机械学院	4	6	2.0	2.0
6	何易德	上海应用技术大学理学院	2	4	2.0	2.0