UV LIGA技术在毫米波太赫兹器件中的应用进展

• 作者: 冯进军 李含雁
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外光刻电铸和微成型 高频结构 毫米波太赫兹器件
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 太赫兹科学技术
• 页码范围: 776-780
• 页数: 5页
• 分类号: TN129
• 字数: 2357字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201805.0776

摘要

采用紫外光刻电铸和微成型(UV LIGA)技术制造太赫兹真空器件的高频结构,频率为94～220 GHz.对于94 GHz高频结构,尺寸误差≤15μm,采用此高频结构的脉冲行波管输出功率大于100 W;180 GHz高频结构,尺寸误差≤5μm,采用此高频结构的太赫兹行波管二倍频器输出功率高于100 mW,带宽为11.4 GHz;220 GHz高频结构,尺寸误差≤3μm,衰减因子为240 dB/m.UV LIGA技术在太赫兹真空器件中的成功应用,不但为毫米波太赫兹器件研制奠定了基础,同时也为UV LIGA技术在设计制造毫米波太赫兹器件领域,包括有源和无源器件,开辟了一番新天地.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯进军	中国电子科技集团公司第十二研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室	34	163	6.0	11.0
2	李含雁	中国电子科技集团公司第十二研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室	6	41	5.0	6.0