浸没式光刻照明系统中非球面变焦系统设计

• 作者: 李美萱 王丽 董连和
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学设计 变焦光学系统 非球面 浸没式光刻 照明系统
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 42-48
• 页数: 7页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20184701.0122002

摘要

设计了一种非球面变焦光学系统,解决了NA1.35浸没式光刻照明技术中内外相干因子调节、能量利用率不足、模块使用寿命短的问题,所设计的非球面变焦系统包括三个镜组、光阑面和像面.系统入瞳直径42mm,视场角1.89°,实现焦距范围700mm~1830mm,变倍比2.61,共使用七片透镜,并在三个凹面表面采用了非球面设计.设计结果表明,该系统成像质量优良,点列图均方根直径均小于40μm,畸变均小于0.5%,设计结果满足浸没式光刻照明系统的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董连和		45	151	7.0	11.0
2	王丽		32	34	3.0	4.0
3	李美萱		22	61	4.0	7.0