RF MEMS开关的研究进展及其应用

• 作者: 张斌珍 徐永庆 段俊萍 王雄师 黄成远
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微电子机械系统(RF MEMS)开关 移相器 可调滤波器 可重构天线 微波
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 652-659
• 页数: 8页
• 分类号: TN63|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.09.006

摘要

射频微电子机械系统(RF MEMS)开关是射频电子系统中的关键器件,首先简要介绍了RF MEMS开关的结构特点及分类方式,综述了RF MEMS开关的发展现状,列举了国内著名科研机构具有代表性的成果,并对比了其结构特点及性能参数,指出国内RF MEMS开关正向着小体积、宽频化、低驱动电压、高性能指标的方向发展.此外,还阐述了RF MEMS开关在多位移相器、可调滤波器、可重构天线等方面的应用,其在与多器件的集成和联合运用中潜力巨大.最后,分析了现有的RF MEMS开关的发展瓶颈,并展望了其以设计新结构、探寻新材料、探索新工艺、多种驱动方式相结合、多器件相集成为未来发展新方向.研发制作新的RF MEMS开关及其功能系统必将会对射频微波领域造成巨大影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌珍	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	107	535	12.0	18.0
2	段俊萍	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	40	96	6.0	7.0
3	徐永庆	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	8	2.0	2.0
4	黄成远	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	10	2.0	3.0
5	王雄师	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	19	3.0	4.0