微波频率与功率对微波等离子体参数的影响

• 作者: 曾晓勇 朱铧丞 肖玮 黄卡玛
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波功率 微波频率 等离子体参数
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TN136
• 字数: 2450字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2018.01.10

摘要

本文研究了微波功率和微波频率对等离子体参数,如电子密度、电子温度、气体温度以及火焰长度的影响.对等离子体的多物理场数值仿真是在基于有限元法的COMSOL Multiphysics中进行的.计算结果显示,等离子体电子密度、电子温度、气体温度都会随着输入微波功率的增大而增大;2450 MHz的微波等离子体相比于915 MHz的微波等离子体,具有更好的性能.同时,本文对不同输入功率下等离子体火焰长度进行了实验测量,结果显示输入功率对火焰长度仅有很微弱的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄卡玛	四川大学电子信息学院	199	1152	18.0	25.0
2	朱铧丞	四川大学电子信息学院	23	18	3.0	3.0
3	肖玮	四川大学电子信息学院	2	1	1.0	1.0
4	曾晓勇	四川大学电子信息学院	5	11	2.0	3.0