基于参考透镜法的数字全息显微相位畸变校正技术

• 作者: 刘源 曾雅楠 朱芮 胡晓东 苏康艳 雷海
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 数字全息 全息显微 相位 畸变 形貌
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 全息术
• 页码范围: 216-222
• 页数: 7页
• 分类号: TP394.1|TH691.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20184701.0109002

摘要

建立了数值与物理方法结合的参考透镜法,对离轴数字全息显微系统进行畸变相位校正.对离轴全息图进行频谱分析,通过频谱滤波、移位的数值方法对一次相位畸变进行校正.在参考光路中引入参考透镜,根据频谱中心能量判别参考透镜的轴向最佳位置,利用物理方法对多次相位畸变进行校正.在相位校正理论分析的基础上,结合实验用参考透镜法验证其有效性和准确性.微台阶表面形貌测量结果表明,参考透镜法能够准确校正相位畸变,通过校正的相位可以获取44nm标准微台阶形貌数据,测量标准差能够达到0.8nm,且测量结果与轮廓仪测量结果一致.表明参考透镜法能够有效、准确地校正离轴数字全息显微系统的畸变相位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡晓东	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	86	712	15.0	23.0
2	刘源	天津农学院工程技术学院	53	165	6.0	9.0
3	曾雅楠	天津农学院工程技术学院	7	5	1.0	2.0
4	雷海	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	6	3	1.0	1.0
5	朱芮		1	3	1.0	1.0
6	苏康艳	天津农学院工程技术学院	2	3	1.0	1.0