纳米氧化铜尺寸效应对其湿度传感特性的影响

• 作者: 刘伟景 姜慧娜 宋小军 李高芳 石张军 赵婉婉 黄宁
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 氧化铜纳米结构 水热合成法 比表面积 传感特性
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 630-634
• 页数: 5页
• 分类号: TB383|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.09.003

摘要

通过水热法制备3种尺寸的氧化铜(CuO)片状纳米结构,采用介电泳方法将所制备纳米结构定位到预先设计的Ti/Au电极上,以此为基础来构建湿度传感器并进行传感特性测试.实验结果表明:氧化铜纳米结构尺寸为4,3和1μm,相对应所构建的湿度传感器的灵敏度分别为0.436,0.665和0.891 kΩ/RH％.发现氧化铜纳米结构的尺寸越小,以之为敏感元件的湿度传感器的灵敏度越高.结合多层吸附理论模型,深入讨论了纳米结构尺寸对湿度传感特性的影响.分析结果表明,通过对依赖于纳米结构尺寸的比表面积和表面原子活性的调控,可以有效改善纳米湿度传感器灵敏度等性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋小军	上海电力学院电子与信息工程学院	8	7	2.0	2.0
2	李高芳	上海电力学院电子与信息工程学院	8	30	3.0	5.0
3	刘伟景	上海电力学院电子与信息工程学院	11	6	1.0	1.0
4	姜慧娜	上海电力学院电子与信息工程学院	4	9	2.0	2.0
5	黄宁	上海电力学院电子与信息工程学院	4	2	1.0	1.0
6	赵婉婉	上海电力学院电子与信息工程学院	2	2	1.0	1.0
7	石张军	上海电力学院电子与信息工程学院	1	2	1.0	1.0