硫化退火温度对金属三靶顺序溅射CZTS薄膜性能的影响

• 作者: 刘仪柯 刘芳洋 唐雅琴 张坤 蒋良兴 赖延清
• 来源期刊: 有色金属（冶炼部分）
• 学科: 工学
• 关键词: 硫化退火 退火温度 铜锌锡硫薄膜 结晶性能
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与设备
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.11|TB34
• 字数: 2258字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7545.2018.01.016

摘要

通过XRD及Raman物相分析、SEM形貌观察和EDS成分分析等方法研究了硫化退火温度对金属三靶顺序溅射铜锌锡硫(CZTS)薄膜性能的影响.结果表明,在一定温度范围内(500～580℃),随着温度的升高薄膜的结晶性能有变好的趋势,形貌也得到了改善.当温度达到600℃时,CZTS薄膜会发生分解反应,该分解反应不但导致薄膜结晶性能及形貌恶化,也造成了锡元素的损失.580℃条件下获得的薄膜各项性能俱佳,是最适合本实验体系的退火温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赖延清		224	2239	23.0	32.0
2	张坤	中南大学冶金与环境学院	31	415	14.0	19.0
4	刘仪柯	贵州理工学院材料与冶金工程学院	8	3	1.0	1.0
15	唐雅琴	贵州理工学院材料与冶金工程学院	5	2	1.0	1.0
19	蒋良兴	中南大学冶金与环境学院	36	155	8.0	11.0
20	刘芳洋	中南大学冶金与环境学院	29	88	7.0	9.0