相位角对容性耦合电非对称放电特性的影响

• 作者: 宋远红 张钰如 王友年 胡艳婷
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 容性耦合等离子体 流体模拟 电非对称效应 径向均匀性
• 年，卷（期）: 2018,（22）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 288-300
• 页数: 13页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.67.20181400

摘要

电非对称效应作为一种新兴技术,被广泛用于对离子能量和离子通量的独立调控.此外,在改善等离子体的径向均匀性方面,电非对称效应也发挥了重要作用.本文采用二维流体力学模型,并耦合麦克斯韦方程组,系统地研究了容性耦合氢等离子体中当放电由多谐波叠加驱动时,不同谐波阶数k下的电非对称效应,重点观察了相位角θn对自偏压以及等离子体径向均匀性的影响.模拟结果表明:在同一谐波阶数下,自偏压随相位角θn的变化趋势不尽相同,且当k增大(k>3)时,自偏压随最高频相位角θk的变化范围逐渐减小.此外,通过调节相位角θn,可以改变轴向功率密度和径向功率密度的相对关系,进而实现对等离子体径向均匀性的调节.研究结果对于利用电非对称效应优化等离子体工艺过程具有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王友年	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	26	88	6.0	8.0
2	宋远红	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	10	11	2.0	3.0
3	胡艳婷	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	张钰如	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0