双热源合成碳化硅过程的三维数值模拟及窑炉结构优化设计

• 作者: 张晴 杨小玉
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双热源 碳化硅 数值模拟 优化设计
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 413-418
• 页数: 6页
• 分类号: TQ173
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.05.12

摘要

采用CFD软件,选取热电耦合模型、组份传输反应模型与辐射模型.对碳热还原合成碳化硅过程中双热源合成炉内能量及物质传递过程进行模拟研究.将模拟结果与工业试验数据进行对比验证,从而验证了模拟的可靠性,揭示了碳化硅合成过程中的传热传质机理.根据分析结果对传统的双热源碳化硅合成炉进行结构优化设计,对于延长合成炉的使用寿命、提升产品质量、改善工况具有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨小玉		18	46	3.0	6.0
2	张晴	西安科技大学材料科学与工程学院	7	11	2.0	3.0