工作参数对电场增强高功率脉冲磁控溅射的调制作用研究

• 作者: 张旭 张群利 徐淑艳 李春伟 田修波 郑权 陈春晟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率脉冲磁控溅射 辅助阳极 工作气压 靶基间距 钒膜 放电特性
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 400-406
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.05.10

摘要

基于辅助阳极的电场增强高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术改善了常规HiPIMS放电及镀膜过程.研究工作参数对电场增强HiPIMS的调制作用可为该技术的应用提供理论依据.利用数字示波器收集HiPIMS基体离子电流,分析了不同工作气压、靶基间距、脉冲频率和脉冲宽度等工作参数对基体离子电流的调制作用规律.利用扫描电镜观察了钒膜的截面形貌特征.结果表明:在相同的靶电压下,基体离子电流平均值随工作气压的增加而增加并逐渐达到饱和值;随靶基间距的增加基体离子电流平均值逐渐减小;随脉冲频率的增加基体离子电流平均值逐渐减小后趋于稳定;当脉冲宽度为150 μs时的基体离子电流平均值高于脉冲宽度为200 μs时的基体离子电流平均值.工作参数对膜层的制备具有调制作用,在适中的工作参数下,电场增强HiPIMS获得的钒膜与基底结合良好、膜层致密完整.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张旭	东北林业大学工程技术学院	24	67	4.0	7.0
2	田修波	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	106	515	11.0	17.0
3	张群利	东北林业大学工程技术学院	41	87	6.0	7.0
4	李春伟	东北林业大学工程技术学院	47	100	5.0	7.0
6	陈春晟	东北林业大学工程技术学院	32	66	5.0	6.0
7	徐淑艳	东北林业大学工程技术学院	32	100	6.0	9.0
8	郑权	东北林业大学工程技术学院	12	21	3.0	4.0