电容式微超声波换能器的设计与电容值测试

• 作者: 何常德 张文栋 杜以恒 薛晨阳 贾利成
• 来源期刊: 应用声学
• 学科: 物理学
• 关键词: 微机电系统 ANSYS 电容式微超声波换能器 E4990A阻抗分析仪 工艺流程
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 504-508
• 页数: 5页
• 分类号: O426.9
• 字数: 1555字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11684/j.issn.1000-310X.2018.04.009

摘要

该文通过对电容式微超声波换能器电容值测试分析了传感器的电容性能.该文设计的电容式微超声波换能器是由电容阵列组成的,主要是利用电容的改变来实现能量的转换.它是基于硅硅键合技术的微机电系统的电容式超声传感器,由其制作的传感器误差小、工艺流程简单且能进行量产.利用E4990A阻抗分析仪测试传感器电容值在工作电压下随频率的变化,得出频率为400 kHz时电容值为617.67 pF.并且利用该仪器对传感器进行C-V测试分析而得出其电容的实际值与理论值的误差仅为1.6%.所得结果为对传感器进行理论计算提供了重要支撑,并且为后续转换电路的设计提供了数据支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	何常德	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	27	99	6.0	9.0
4	杜以恒	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	2	1.0	1.0
5	贾利成	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0