真空开关管真空度测量仪标定校准研究

• 作者: 张吉峰 韩永超
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空度校准 真空度测量仪 真空开关管
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TB771
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.03.05

摘要

本文介绍了真空开关管真空度测量仪标定校准的研究成果,重点介绍了真空度测试仪动态对比法标定校准的原理,系统组成和机构,标定校准的工艺过程,并对校准带来的误差和干扰因素进行了汇总分析,通过分析,为进一步提高校准的精度提供了改进思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张吉峰		13	4	1.0	1.0
2	韩永超		3	0	0.0	0.0