TFT-LCD彩膜工艺宏观缺陷自动化修补的探究

• 作者: 毛继禹 王旭 王超 郭如意 陈波
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 宏观缺陷修复 竖线Mura
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 检测与监控
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TP29
• 字数: 1539字
• 语种: 中文

摘要

目前CF基板的宏观缺陷出现后是无法修补的,当缺陷的特定值超过Spec,Glass上相应的Panel就会被判为Panel NG.每天会有很多Panel因为宏观品质NG掉.而所有的宏观缺陷中,竖线Mura所占到的比率最高.提出一种可自动修复NG竖线的Mura设备的设想.衡量竖线Mura是否符合标准的Spec参数为膜厚,当基板上的Panel出现膜厚值超过Spec值的竖线Mura,就需要将此Panel判为NG,后续报废掉.新设想的Mura检测机可通过新设计的"探针单元"确定竖线区域膜厚的高低,再利用"竖线处理单元"对竖线进行处理,并根据"图像对比单元"的数据对比进行结果确认或再修改,快速将此竖线的特性值处理为Spec内,使得此缺陷不会导致Panel NG.这就使得CF基板的OK比率有了大幅度的提高,为公司节约了大量的成本,更重要的是实现了CF基板宏观缺陷的自动化修补.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛继禹		12	10	2.0	3.0
2	王旭		15	17	2.0	3.0
3	陈波		7	5	1.0	2.0
4	王超		13	10	1.0	2.0
5	郭如意		1	1	1.0	1.0