毫秒激光致固体靶材熔融喷溅的比较实验研究

• 作者: 倪晓武 张梁 陆健
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光物理 熔融喷溅 阴影法 气化 毫秒激光
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 446-450
• 页数: 5页
• 分类号: O4141.4|TN305.1
• 字数: 3258字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.04.003

摘要

为了研究毫秒激光致硅靶的熔融喷溅机理,采用阴影法,通过高速CCD获得了毫秒激光与固体靶材(硅靶和铝靶)相互作用的序列阴影图,研究了毫秒激光致固体靶材的融熔喷溅过程.实验上对比了毫秒激光致硅靶和铝靶熔融喷溅过程的不同,并对毫秒激光致固体熔融喷溅形成的机制进行了讨论.根据两种靶材融熔喷溅机理不同,解释了两种靶材融熔喷溅物的形貌、喷溅角度、喷溅物分布和喷溅物亮度不同的原因.结果表明,毫秒激光对两种靶材均能产生气化和熔融喷溅过程,但气化强度和熔融喷溅物的形态、亮度均不相同;激光作用硅靶时,作用区域所产生的气化现象不明显,熔融喷溅物呈液滴状,其亮度强于背景光,熔融喷溅方向与靶材前表面法线所成角的最大值为45°,熔融喷溅物分布在其间;而激光作用铝靶时,作用区域的铝靶所产生的气化现象更加明显,熔融喷溅物呈线状不透明流体,其亮度低于背景光,熔融喷溅方向与靶材前表面法线所成角度为20°,熔融喷溅物分布在熔融喷溅方向所在的直线周围.该研究对激光加工技术是有帮助的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪晓武	南京理工大学理学院	227	2204	23.0	31.0
2	陆健	南京理工大学理学院	18	46	4.0	6.0
3	张梁	南京理工大学理学院	8	60	5.0	7.0