一体双驱对称式压电悬臂梁微驱动器

• 作者: 周岁 寻之宇 张卫平 欧彬
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 一体双驱 对称 微机电系统 悬臂梁式
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 657-660
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 1758字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.05.005

摘要

设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器.对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸.介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式.制作了压电驱动器样机,并通过有限元仿真分析与测试实验相结合的方式得到压电驱动器的阻抗特性与输出特性曲线.将压电驱动器运用在轮式机器人,验证了设计的可行性.