平面氧化硅光波导环形谐振腔的温度特性

• 作者: 唐军 张成飞 郭慧婷 钱坤
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化硅 谐振腔 光波导 温度特性 谐振式微光学陀螺
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 415-421
• 页数: 7页
• 分类号: TN252
• 字数: 3201字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.06.006

摘要

温度变化会在氧化硅光波导谐振腔中引起极化误差,该极化误差所引起的偏振波动噪声是限制谐振式集成光学陀螺长期稳定性的主要因素.通过对反射式和透射式两种结构的谐振腔分别进行主动温控实验,成功测得了谐振腔的温度特性,并对其进行了详细分析.由实验分析结果可知:随着光波导谐振腔的温度变化,两种结构的谐振腔谐振曲线的峰值都呈周期性变化,谐振腔的主次偏振态之间的相位差在0～2π内波动,且主次偏振态之间的相位差为π时,次偏振态对主偏振态的影响最小.由进一步的分析可知,透射式谐振腔中次主偏振态的强度比例越小,相应地由温度波动引起的谐振频率偏差越小.相比于反射式谐振腔,透射式谐振腔在抑制陀螺的偏振波动噪声方面具有更好的优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	64	114	5.0	9.0
2	郭慧婷	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	6	1.0	2.0
3	钱坤	湖南理工学院先进光学研究所	5	4	1.0	2.0
4	张成飞	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	14	18	3.0	3.0