称重法滴管式气体流量测量的实验研究与误差分析

• 作者: 孙坤 张世伟 赵凡 韩峰
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 气体流量测量 称重滴管法 实验 误差分析
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 30-34
• 页数: 5页
• 分类号: TH715.1|TH814
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.01.08

摘要

为验证前文提出的称重法滴管式气体流量测量装置与方法的原理正确性和实验可行性,将一台实验教学用的扩散泵抽速测量装置改建为称重法滴管式气体流量测量试验台;采用称重法完成了一台K-200扩散泵的抽速曲线测量,结果与传统法一致,验证了新方法的可行性和便捷性.针对电子秤自身精度可能带来的测量误差和由于油液升降流动产生附加重量的原理性误差,开展该测量方法的误差分析,结果表明这两项误差对气体流量的测量结果影响很小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张世伟	东北大学机械工程与自动化学院	68	567	14.0	19.0
2	赵凡	东北大学机械工程与自动化学院	9	22	3.0	4.0
3	韩峰	东北大学机械工程与自动化学院	6	16	1.0	4.0
4	孙坤	东北大学机械工程与自动化学院	7	2	1.0	1.0