调控CNx薄膜的紫外可见波段光学性能研究

• 作者: 曹林洪 毛娟 熊政伟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: 碳氮薄膜 X射线光电子谱 光学 sp2C=N
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 369-374
• 页数: 6页
• 分类号: O434|O6-335
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.05.04

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在不同衬底温度(常温、50、100、150、200C)下制备了碳氮(CNx)薄膜,并对其形貌、结构及光学性能进行了研究.通过扫描电镜得出随着衬底温度的升高,薄膜由疏松逐渐变得致密.X射线光电子能谱分析表明:薄膜的结合健有sp2C =C、sp3C-C、sp2C=N和sp3C-N.随着衬底温度的升高,sp2C =C的比例没有明显变化,sp3C-C比例逐渐增大(28.6％～36.4％),sp3C-N的比例也逐渐增大(21.4％ ～ 33.4％),而sp2C=N的比例减小(40.2％ ～21％).反射光谱和吸收光谱显示:随着衬底温度的升高,薄膜在200 ～ 800 nm波段内的反射率增大(8％～40％),吸收率减小(92％～60％).进一步推导得到薄膜的光学带隙随着衬底温度的升高而增大(2.5 ～3.57 eV),主要由薄膜中sp2C=N减少导致的.本文实现了对CNx薄膜在紫外可见波段范围内的光学带隙的调控.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹林洪	西南科技大学材料科学与工程学院	38	148	8.0	10.0
5	熊政伟	西南科技大学材料科学与工程学院	4	2	1.0	1.0
9	毛娟	西南科技大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0