基于检漏仪的全自动真空氦漏孔校准方法研究

• 作者: 于红燕 王金库 王金锁 管地
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 标准漏孔 不确定度 稳定性 线性误差
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: TH823
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.01.06

摘要

本文介绍了基于氦质谱检漏仪的比较法标准漏孔校准装置和标准漏孔校准方法的研究.该装置实现了标准漏孔的全自动校准.装置通过软件控制气动阀门的动作、数据的自动采集、计算和记录,并最终输出原始记录.以下对该系统的工作原理、操作步骤、测试实例以及校准获得不确定度分量进行了简单阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	管地		10	14	2.0	2.0
2	王金库		11	16	2.0	3.0
3	于红燕		12	48	2.0	6.0
4	王金锁		1	2	1.0	1.0