基于365nm LED的数字光刻照明系统匀光设计

• 作者: 周金运 梁庆九
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 均匀照明 复眼透镜阵列 光学设计 365nm发光二极管 数字光刻
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 225-229
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2018.02.015

摘要

在数字光刻照明系统中,利用复眼透镜对365 nm发光二极管(LED)进行了匀光设计,透镜阵列采用近六边形的排列方式,能基本覆盖圆形光.近六边形阵列相对于方形结构能减少无效透镜数量,能更有效地利用透镜发挥匀光效能.用软件分别仿真了近六边形、9×9方形透镜的照明系统,并对比了其照度图,结果表明使用近六边形阵列的照明系统照度更为均匀.用近六边形阵列设计的照明系统与数字微反射镜(DMD)、光刻镜头相结合,进行了2 μm精度的数字光刻实验,其像面照度均匀,线条清晰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周金运	广东工业大学物理与光电工程学院	53	251	9.0	13.0
2	梁庆九	广东工业大学物理与光电工程学院	1	2	1.0	1.0