微光学陀螺楔形谐振腔制备技术研究

• 作者: 李国雁 李奇
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: DQ乘积 灵敏度 大尺寸 SiO2楔形谐振腔 微光学陀螺
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计分析及应用
• 页码范围: 1461-1463
• 页数: 3页
• 分类号: TN815
• 字数: 1831字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2018.06.022

摘要

Si基谐振式光学微腔陀螺以小型化、集成化成为未来姿态检测领域的发展趋势,其极限灵敏度主要取决于谐振腔直径D与品质因数Q值乘积.目前常见的硅基微腔直径为微米级.为了进一步提高极限灵敏度,实验中控制加工工艺减小反应过程中残余应力与表面粗糙度,制备出直径D为8 mm、表面粗糙度小于1 nm、Q值2.4×106的大尺寸硅基SiO2楔形谐振腔,可实现陀螺极限灵敏度达到55°/h,为芯片级、集成化的新型谐振式光学微腔陀螺的研究奠定了实验基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李奇	河南牧业经济学院信息与电子工程学院	5	4	1.0	1.0
2	李国雁	河南牧业经济学院信息与电子工程学院	5	3	1.0	1.0