扫描电子显微镜图像漂移的实时矫正方法

• 作者: 储成智 徐伟 汝长海 谷森 靳振伟
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子显微镜 图像漂移 单应矩阵 矫正
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 37-44
• 页数: 8页
• 分类号: O436.3|TP391
• 字数: 2584字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2018.180198

摘要

为解决扫描电子显微镜(SEM)由于电子束漂移、电磁干扰等原因导致的图像漂移问题,提出基于ORB结合PROSAC的图像漂移矫正算法.首先采用ORB算法对基准图像和实时图像进行特征检测,然后利用汉明距离与交叉匹配实现特征的初匹配,再结合RANSAC的优化算法PROSAC计算帧间的单应矩阵,利用单应矩阵映射剔除外点后重新迭代计算出最终的精确单应矩阵,最后利用单应矩阵的透视变换实现SEM图像漂移实时矫正.通过实验证明,该算法不仅精度高,而且能够满足SEM实时处理的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐伟	苏州大学机器人与微系统研究中心	26	122	5.0	10.0
2	汝长海	苏州大学机器人与微系统研究中心	21	65	5.0	8.0
4	储成智	苏州大学机器人与微系统研究中心	5	4	1.0	2.0
5	谷森	苏州大学机器人与微系统研究中心	6	0	0.0	0.0
8	靳振伟	苏州大学机器人与微系统研究中心	2	0	0.0	0.0