X射线平板探测器背板工艺研究进展

• 作者: 卜倩倩 姜明宵 孙晓 王丹 胡伟频 邱云
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 平板探测器 背板工艺 性能提升
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 动态综述
• 页码范围: 312-316,321
• 页数: 6页
• 分类号: TP391.41
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.03.002

摘要

从高像素填充因子、低噪声、高帧频、高空间分辨率及柔性五个方面对近些年X射线平板探测器背板工艺的研究进展进行了综述.通过对研究过程中的材料选择、像素结构和读出电路优化的详细阐述,分析了X射线平板探测器背板工艺的研究现状及改善方向.文章同时从新结构、新材料、电路设计及三维探测设计四个方面给出了X射线平板探测背板技术未来的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卜倩倩		1	0	0.0	0.0
2	胡伟频		1	0	0.0	0.0
3	王丹		1	0	0.0	0.0
4	孙晓		1	0	0.0	0.0
5	邱云		1	0	0.0	0.0
6	姜明宵		1	0	0.0	0.0