表面具有微纳结构的AZO薄膜制备及性能研究

• 作者: 仲召进 姚婷婷 李刚 杨勇 汤永康 沈鸿烈 王天齐 甘治平 金克武 马立云
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜 表面形貌 微纳结构 亲水性 电学性能 雾度
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 802-806
• 页数: 5页
• 分类号: TN36
• 字数: 3371字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.05.035

摘要

采用磁控溅射法及线棒刮涂法在玻璃衬底上室温生长微纳结构铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜,使底层AZO薄膜工作压强从1.5Pa调整到0.1Pa.通过扫描电子显微镜(SEM)、X线衍射(XRD)仪、霍尔效应测试系统、分光光度计及光电雾度仪研究了AZO薄膜的表面形貌、晶体结构、电学性能和光学性能.研究结果表明,降低底层AZO薄膜工作压强对微纳结构AZO薄膜光电性能有显著的影响.底层AZO薄膜工作压强0.2Pa时,薄膜表现最低电阻率为6.17×10-4Ω·cm,可见光波段平均光学透光率为82.3％.随着底层AZO薄膜工作压强的降低,薄膜表面形貌、生长形态和晶粒大小发生较大变化,并得到具有陷光作用、优良光电性能的微纳结构AZO薄膜.