CrSiN-Ag薄膜的制备及性能

• 作者: 喻利花 王卫玲 许俊华
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: CrSiN-Ag薄膜 微观结构 力学性能 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

为拓宽氮化物薄膜的应用范围、研究Ag元素的加入对CrSiN-Ag薄膜性能的影响,采用射频磁控溅射在单晶硅Si(100)和304不锈钢上制备了不同Ag含量的CrSiN-Ag薄膜,利用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪、摩擦磨损仪和三维形貌仪等对薄膜的成分、微观结构、力学和不同温度下的摩擦磨损性能进行表征.结果表明:CrSiN-Ag薄膜呈面心立方(fcc)结构,Ag以晶态的形式存在于CrSiN薄膜中;随着Ag含量的增加,CrSiN-Ag薄膜的硬度先升高后逐渐降低,当Ag含量增加到6.84％(原子分数)时硬度最大,为26.55 GPa.室温时,CrSiN-Ag薄膜的摩擦系数随着Ag含量的增加而减小,磨损率随着Ag含量的增加先减小后增大;当Ag含量为6.84％时,CrSiN-Ag薄膜的高温摩擦系数随着温度的升高先增加后减小,磨损率随着温度的升高而增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
2	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0
3	王卫玲	江苏科技大学材料科学与工程学院	2	3	1.0	1.0