开尔文探针力显微镜的应用研究现状

• 作者: 常诞 武兴盛 马宗敏 魏久焱
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 开尔文探针力显微镜(KPFM) 接触电势差 纳米结构 超高分辨率 纳米级成像
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 751-756
• 页数: 6页
• 分类号: TH742
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.10.009

摘要

开尔文探针力显微镜(KPFM)是一种能够对众多材料表面电势纳米级成像的独特工具.首先介绍了开尔文探针力显微镜的基本工作原理和系统的建立.系统综述了开尔文探针力显微镜的国内外应用研究现状,包括开尔文探针力显微镜在物理、材料和生物等领域的重要应用.详细介绍了其在表征金属纳米结构和半导体纳米结构电学性质的超高分辨优势,表征器件纳米结构电学性质的兼容性优势及其他方面的独特的应用前景.指出了开尔文探针力显微镜的可扩展性需提高和物理机制需进一步深入研究,并且展望了开尔文探针力显微镜未来的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武兴盛	中北大学电子测试技术重点实验室	3	1	1.0	1.0
5	魏久焱	中北大学电子测试技术重点实验室	3	1	1.0	1.0
9	马宗敏	中北大学电子测试技术重点实验室	16	19	2.0	3.0
13	常诞	中北大学电子测试技术重点实验室	2	0	0.0	0.0