场发射扫描电镜荷电现象的研究及参数优化

• 作者: 孙伟 朱紫瑞 郭娟 高翔
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 场发射扫描电子显微镜 荷电现象 低加速电压 二次电子
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 1008-1012
• 页数: 5页
• 分类号: TN16|TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.11.16

摘要

扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛.荷电现象是最常见的严重影响到SEM图像质量的现象之一,它会造成图像的反差异常、形变等,在导电性不好或很差的样品形貌表征中极为常见.文中以几种导电性较差样品,如陶瓷、倍他环糊精、SiO2、细菌等为对象,通过实验比对后发现,通过加速电压、探头选择、信号选择、图像采集方式等参数的调节能够有效减轻SEM图像的荷电现象,从而提高了图像质量,获得了更为真实的显微结构信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高翔	西北大学化学与材料科学学院	25	96	6.0	9.0
2	孙伟	西北大学化学与材料科学学院	24	80	5.0	7.0
3	朱紫瑞	西北大学文化遗产学院	13	39	4.0	6.0
4	郭娟	西北大学化学与材料科学学院	4	10	2.0	3.0