工艺误差对盘式耦合谐振滤波器的影响

• 作者: 李豪 董林玺 郑梦萍
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS滤波器 MEMS谐振器 倾斜效应 MEMS谐振器阵列
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 334-341
• 页数: 8页
• 分类号: TP212
• 字数: 4074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.03.003

摘要

MEMS谐振器采用阵列耦合设计可以降低运动电阻、提高功率处理能力等,但是阵列耦合谐振器的性能对于耦合梁结构特性非常敏感,据此分析工艺误差造成的耦合梁形状变化对圆盘阵列耦合谐振器滤波性能的影响.对耦合梁不同程度倾斜下的谐振滤波器结构和性能参数进行理论分析,并采用有限元仿真软件ANSYS进行模拟仿真.结果表明当耦合梁分别发生0.1°、0.2°、0.5°倾斜时,滤波器中心频率分别下偏10×10-6、24×10-6、51×10-6.当倾斜角达到0.5°时,分数带宽偏差将达到5.6%.提出了一种半高耦合梁的圆盘阵列谐振滤波器,其滤波器性能稳定性要4×优于常规型圆盘耦合谐振滤波器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董林玺	杭州电子科技大学电子信息学院射频电路与系统教育部重点实验室	22	104	6.0	8.0
3	李豪	杭州电子科技大学电子信息学院射频电路与系统教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0
4	郑梦萍	杭州电子科技大学电子信息学院射频电路与系统教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0